5 tengelyes mart kerámia szigetelők félvezető berendezésekhez és tisztaterekhez

A félvezetőgyártás és a tisztatéri környezetek nagy téttel bíró világában minden alkatrésznek hibátlan teljesítményt kell nyújtania.PFT, kézműveskedésre szakosodtunk5 tengelyes mart kerámia szigetelőkamelyek újraértelmezik a pontosságot és a megbízhatóságot. Több mint 20+ termékkelTöbb éves szakértelmünknek köszönhetően megoldásainkat úgy terveztük, hogy megfeleljenek a félvezető berendezések szigorú követelményeinek, biztosítva a hőstabilitást, az elektromos szigetelést és a szennyeződésmentes működést ultraérzékeny környezetben.

Miért válassza 5 tengelyes mart kerámia szigetelőinket?

1.Fejlett gyártási képességek

Létesítményünk fel van szerelvelegmodernebb 5 tengelyes CNC marógépek, lehetővé téve a mikron szintű pontosságot a fejlett kerámiák, például az alumínium-oxid (Al₂O₃), a szilícium-karbid (SiC) és az alumínium-nitrid (AlN) megmunkálásában. A hagyományos módszerekkel ellentétben az 5-tengelyes megmunkálás összetett geometriákat tesz lehetővé – ami kritikus fontosságú az olyan alkatrészeknél, mint a lapkamra-emelő csapok, a leválasztó kamra alkatrészei és a plazmaálló szigetelők.

Főbb jellemzők:

•Pontosság:±0,005 mm-es tűréshatár az ASML litográfiai eszközökbe vagy a Lam Research maratási rendszerekbe való zökkenőmentes integrációhoz.
•Anyag sokoldalúsága:99,8%-os alumínium-oxidhoz, nagy tisztaságú SiC-hez és más fejlett kerámiákhoz optimalizálva.
•Felületkezelés:Ra <0,2 μm a részecskék keletkezésének minimalizálása érdekében az ISO 1. osztályú tisztaterekben.

2.Saját fejlesztésű folyamattervezés

Mérnökeink kifejlesztettékzárt hurkú folyamatszabályozásokamelyek megmunkálás közben alkalmazkodnak a kerámia ridegségéhez. A szárazmarási technikák valós idejű rezgéscsillapítással való kombinálásával repedésmentes felületeket és hosszabb alkatrész-élettartamot érünk el – még extrém hőciklusok esetén is (akár 1600 °C-ig).

Innovációs fókusz:

•Stresszoldó protokollok:Minimalizálja a mikrotöréseket az AlN szigetelőkben CVD alkalmazásokhoz.
•Megmunkálás utáni kezelések:A HIP (forró izosztatikus préselés) növeli a sűrűséget és a korrózióállóságot.

3.Szigorú minőségbiztosítás

Minden szigetelő alávetődik12 szakaszos ellenőrzés, beleértve:

•CMM (koordináta mérőgép)kritikus dimenziók validálása.
•Hélium szivárgásvizsgálatvákuumkompatibilitás érdekében.
•EDS (energiadiszperzív röntgenspektroszkópia)az anyag tisztaságának ellenőrzésére.

A miénkISO 9001/14001 tanúsítvánnyal rendelkező rendszerbiztosítja a nyomon követhetőséget a nyersanyag-beszerzéstől (elsődleges beszállítóktól, például a CoorsTektől szerezve be) a végső csomagolásig.

Alkalmazások: Ahol a precizitás találkozik a teljesítménnyel

Szigetelőinkben megbíznak:

•Maró és leválasztó eszközök:SiC-bevonatú alkatrészek plazmaállóság érdekében az Applied Materials™ modulokban.
•Ionimplantátumok:Alumínium-oxid emelőcsapok antisztatikus bevonattal a lapkák elcsúszásának megakadályozása érdekében.
•Metrológiai rendszerek:Alacsony hőtágulású szigetelők EUV litográfiai színpadokhoz.

Esettanulmány:Egy vezető félvezető OEM 40%-kal csökkentette a szerszámai állásidejét, miután átállt egyedi tervezésű SiC zuhanyfejeinkre, amelyek a 300 mm-es wafer feldolgozás során felülmúlták a versenytársak alkatrészeit.

A gyártáson túl: Partnerségi megközelítés

•Gyors prototípusgyártás:Küldje be CAD fájljait, és 7 napon belül megkapja a működő prototípusokat.
•Helyszíni tisztatéri csomagolás:Opcionális 10-es osztályú tisztatéri összeszerelés a közvetlen szerszámintegrációhoz.
•Élettartamra szóló műszaki támogatás:Mérnökeink kopáselemzést és újramegmunkálási szolgáltatásokat nyújtanak az alkatrészek élettartamának meghosszabbítása érdekében.